每經(jīng)AI快訊精密機(jī)械,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問:公司是否開發(fā)過用于精密機(jī)械結(jié)構(gòu)的主動(dòng)溫控材料(如動(dòng)態(tài)導(dǎo)熱補(bǔ)償膜)?與海外競(jìng)品(如德國漢高)的技術(shù)差距體現(xiàn)在哪些參數(shù)(如導(dǎo)熱速率波動(dòng)率)?中石科技
金融界3月11日消息精密機(jī)械,有投資者在互動(dòng)平臺(tái)向中石科技提問:光刻機(jī)工件臺(tái)的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度對(duì)熱變形極其敏感,公司是否開發(fā)過用于精密機(jī)械結(jié)構(gòu)的主動(dòng)溫控材料(如動(dòng)態(tài)導(dǎo)熱補(bǔ)償膜)?與海外競(jìng)品(如德國漢高