每經AI快訊精密機械,有投資者在投資者互動平臺提問:公司是否開發過用于精密機械結構的主動溫控材料(如動態導熱補償膜)?與海外競品(如德國漢高)的技術差距體現在哪些參數(如導熱速率波動率)?中石科技
金融界3月11日消息精密機械,有投資者在互動平臺向中石科技提問:光刻機工件臺的納米級運動精度對熱變形極其敏感,公司是否開發過用于精密機械結構的主動溫控材料(如動態導熱補償膜)?與海外競品(如德國漢高